| 发明名称 |
RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11167201(A) |
申请公布日期 |
1999.06.22 |
| 申请号 |
JP19980281819 |
申请日期 |
1998.10.02 |
| 申请人 |
JSR CORP |
发明人 |
INOUE MASAAKI;INOMATA KATSUMI;HARA HIROMICHI;ISAMOTO YOSHITSUGU |
| 分类号 |
G03F7/022;C08K5/07;C08K5/10;C08K5/28;C08L61/06;C08L101/00;C09D201/00;(IPC1-7):G03F7/022 |
主分类号 |
G03F7/022 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
