| 发明名称 |
Smooth titanium nitride films having low resistivity |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG65745(A1) |
申请公布日期 |
1999.06.22 |
| 申请号 |
SG19980000640 |
申请日期 |
1998.03.27 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
NGAN KENNY KING-TAI;RAMASWAMI SESHADRI |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/32;C23C14/35;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):C23C14/00;C23C26/00 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
