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发明名称
Method of reducing generation of particulate matter in a sputtering chamber
摘要
申请公布号
SG65694(A1)
申请公布日期
1999.06.22
申请号
SG19970003872
申请日期
1997.10.27
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
NGAN, KENNY, K.
分类号
C23C14/34;C23C14/56;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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