发明名称
摘要
申请公布号 JP2906499(B2) 申请公布日期 1999.06.21
申请号 JP19890319872 申请日期 1989.12.08
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 SHIMIZU JUNZO;PPONMA TETSUYA;MURAO YUKINOBU
分类号 H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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