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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11168216(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970333883 申请日期 1997.12.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 OKA HITOSHI;ITO YUTAKA
分类号 H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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