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发明名称
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申请公布号 JP2907830(B2) 申请公布日期 1999.06.21
申请号 JP19880017076 申请日期 1988.01.29
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 NISHINO JUICHI;KAWABE USHIO;HASEGAWA HARUHIRO
分类号 H01L29/78;H01L39/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/22 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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