发明名称
摘要
申请公布号 JP2906420(B2) 申请公布日期 1999.06.21
申请号 JP19890005530 申请日期 1989.01.12
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA JUKOGYO KK 发明人 NEHASHI KYOSHI;OKABE SHUICHI
分类号 C23C14/54;C23C14/24;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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