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发明名称 DEVICE AND METHOD OF WASHING
摘要
申请公布号 JPH11168080(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970334406 申请日期 1997.12.04
申请人 SONY CORP 发明人 SATO NOBUAKI;ISHIYAMA HIROSHI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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