| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11168073(A) |
申请公布日期 |
1999.06.22 |
| 申请号 |
JP19980079988 |
申请日期 |
1998.03.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NISHIKAWA NOBUYUKI;SUZUKI HISAYA |
| 分类号 |
H01L27/04;C23C16/02;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/822;H01L29/40;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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