| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11163141(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19980275117 |
申请日期 |
1998.09.29 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOL INC |
发明人 |
SAILESH CHITTIPEDI;MERCHANT SAILESH MANSINH |
| 分类号 |
H01L21/28;C23C14/04;C23C14/06;C23C16/04;C23C16/34;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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