| 发明名称 |
FORMATION METHOD FOR GATE ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11162995(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19970328023 |
申请日期 |
1997.11.28 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
MAKINO YOICHI;MIYAMOTO HIRONOBU |
| 分类号 |
H01L29/41;H01L21/285;H01L21/338;H01L21/768;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
H01L29/41 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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