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发明名称
MODEL FOR EVALUATING CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND EVALUATION METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH11163313(A)
申请公布日期
1999.06.18
申请号
JP19970330458
申请日期
1997.12.01
申请人
SHARP CORP
发明人
SHIYU U
分类号
G01R31/28;G06F17/50;H01L29/00;(IPC1-7):H01L29/00
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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