发明名称 MODEL FOR EVALUATING CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND EVALUATION METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11163313(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970330458 申请日期 1997.12.01
申请人 SHARP CORP 发明人 SHIYU U
分类号 G01R31/28;G06F17/50;H01L29/00;(IPC1-7):H01L29/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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