| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11162966(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19970328039 |
申请日期 |
1997.11.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
MOMOI HIDEO;FUJIWARA TAKESHI;NEZU HIROKI;SAITO TETSUO |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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