发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11163137(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970337709 申请日期 1997.11.21
申请人 NEC CORP 发明人 USAMI TATSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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