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发明名称 PLASMA TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11162932(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970326037 申请日期 1997.11.27
申请人 SHIBAURA MECHATRONICS CORP 发明人 TSUGAMI YOSHIZO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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