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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11162696(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970343684 申请日期 1997.11.28
申请人 FRON TEC:KK;ALPS ELECTRIC CO LTD;OMI TADAHIRO 发明人 NAKANO AKIRA;KIN SEITETSU;FUKUDA KOICHI;TAKEDA YASUHIRO;KASAMA YASUHIKO;ONO SHOICHI;OMI TADAHIRO
分类号 H05H1/46;C23C16/50;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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