| 发明名称 |
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11162384(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19970326311 |
申请日期 |
1997.11.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OSE YOICHI;YOSHINARI KIYOMI;TODOKORO HIDEO |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/147 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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