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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11163337(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970327934 申请日期 1997.11.28
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAI ISAYOSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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