| 发明名称 |
PULSED GAS LASER OSCILLATOR AND LASER ANNEAL DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11163447(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19970323119 |
申请日期 |
1997.11.25 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KAKIZAKI KOJI;SUMINO TSUTOMU |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;H01S3/097;(IPC1-7):H01S3/097 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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