| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MEASUREMENT DEVICE WITH DYNAMICALLY VARIABLE DECISION REFERENCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11163063(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19970331644 |
申请日期 |
1997.12.02 |
| 申请人 |
HEWLETT PACKARD JAPAN LTD |
发明人 |
MIYAMOTO TAKASHI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/01;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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