发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FORMING ITS ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH11163014(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970329974 申请日期 1997.12.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YAMAMOTO TAKEMASA;WAKAMATSU CHIHARU
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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