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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11162978(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970329922 申请日期 1997.12.01
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 NAKATSUKA YASUHIKO;MIYAZAKI TORU;NAGAHAMA HISAAKI;TANABE YOSHIKAZU;CHIBA TAKATOSHI;KONDO YASUAKI
分类号 H01L29/78;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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