发明名称 PLASMA FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11162961(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970343999 申请日期 1997.11.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 AOKI TAKESHI;NAKASE RISA
分类号 C23C16/50;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
地址