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经营范围
发明名称
PLASMA FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH11162961(A)
申请公布日期
1999.06.18
申请号
JP19970343999
申请日期
1997.11.27
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
AOKI TAKESHI;NAKASE RISA
分类号
C23C16/50;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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