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发明名称 CLEANING PROCESS
摘要
申请公布号 JPH11162902(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970342144 申请日期 1997.11.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MIYATA AKIRA;TSUCHIYA TAKAFUMI;KUBOTA HIKARI
分类号 B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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