发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE AND POWER CONVERSION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11163314(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970322679 申请日期 1997.11.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITO KATSUAKI;KATO SHUJI
分类号 H01L29/74;H01L21/332;(IPC1-7):H01L29/74 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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