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发明名称 SOLUTION REMOVING AIR KNIFE UNIT
摘要
申请公布号 JPH11162908(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970327932 申请日期 1997.11.28
申请人 NEC KAGOSHIMA LTD 发明人 SUMINAKA HIRONOBU
分类号 B08B5/02;F26B15/12;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B5/02
代理机构 代理人
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