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经营范围
发明名称
VACUUM LOCK CHAMBER
摘要
申请公布号
JPH11162393(A)
申请公布日期
1999.06.18
申请号
JP19970328721
申请日期
1997.11.28
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
TATEMICHI JUNICHI
分类号
C23C14/00;C23C14/56;C23C16/44;H01J37/317;H01L21/00;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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