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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11163163(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970337707 申请日期 1997.11.21
申请人 NEC CORP 发明人 TOGO MITSUHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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