| 发明名称 |
SPECTRAL MEASUREMENT METHOD AND EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11160030(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19970328615 |
申请日期 |
1997.11.28 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KOKUBO MASAHIKO;TAMADA ATSUSHI |
| 分类号 |
G01B11/06;G01N21/27;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
