发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11162967(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19980243893 申请日期 1998.08.28
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 MIZUHARA HIDEKI;WATANABE HIROYUKI;MATSUBARA NAOTERU
分类号 H01L21/31;H01L21/265;H01L21/311;H01L21/3115;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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