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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Diamantschicht
摘要
申请公布号 DE69509594(D1) 申请公布日期 1999.06.17
申请号 DE19956009594 申请日期 1995.07.17
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HIRABAYASHI, KEIJI, OHTA-KU, TOKYO, JP;YOSHIKAWA, TOSHIAKI, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/507;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
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