发明名称 SRAM-Speicherstruktur und ein zugehöriges Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE69418357(D1) 申请公布日期 1999.06.17
申请号 DE19946018357 申请日期 1994.02.10
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KURIYAMA, HIROTADA, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., ITAMI-SHI, HYOGO 664, JP;MAKI, YUKIO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., ITAMI-SHI, HYOGO 664, JP;KOHNO, YOSHIO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., ITAMI-SHI, HYOGO 664, JP
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/8234;H01L21/8244;H01L27/088;H01L27/11;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/11;H01L21/82 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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