Reinigungsvorrichtung mit Bürsten und diese verwendendes Reinigungssystem für scheibenförmige Gegenstände,申请号DE19956005060T-传众专利搜索

发明名称	Reinigungsvorrichtung mit Bürsten und diese verwendendes Reinigungssystem für scheibenförmige Gegenstände
摘要
申请公布号	DE69505060(T2)	申请公布日期	1999.06.17
申请号	DE19956005060T	申请日期	1995.06.16
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	UCHIYAMA, ISAO, NISHI-SHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP;NAKANO, MASAMI, RYOKUHU-RYO, 1505, NISHI-SHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP;TAKAMATU, HIROYUKI, SHIRAKAWA-SHI, FUKUSHIMA-KEN, JP;SUZUKI, MORIE, NISHI-SHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP
分类号	B08B1/04;B08B1/02;B08B3/02;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;B08B11/00;A46B13/04	主分类号	B08B1/04
代理机构		代理人
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