NASSAETZUNGSVERBINDUNG FUER HALBLEITER MIT AUSGEZEICHNETEN BEFEUCHTUNGSEIGENSCHAFTEN,申请号DE19946018458-传众专利搜索

发明名称	NASSAETZUNGSVERBINDUNG FUER HALBLEITER MIT AUSGEZEICHNETEN BEFEUCHTUNGSEIGENSCHAFTEN
摘要
申请公布号	DE69418458(D1)	申请公布日期	1999.06.17
申请号	DE19946018458	申请日期	1994.02.02
申请人	DAIKIN INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP	发明人	ISHII, MASAO, DAIKIN INDUSTRIES LTD., SETTSU-SHI, OSAKA-FU 566, JP;HOSOMI, TOMOHIRO, DAIKIN INDUSTRIES LTD., SETTSU-SHI, OSAKA-FU 566, JP;MARUYAMA, SHIGERU, DAIKIN INDUSTRIES LTD., SETTSU-SHI, OSAKA-FU 566, JP;ITANO, MITSUSHI, DAIKIN INDUSTRIES LTD., SETTSU-SHI, OSAKA-FU 566, JP
分类号	C09K13/10;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/308;C11D1/00	主分类号	C09K13/10
代理机构		代理人
主权项
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