发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiter-Speicherstruktur vom vertikalen Typ und nach dem Verfahren hergestellte Struktur
摘要
申请公布号 DE69324864(D1) 申请公布日期 1999.06.17
申请号 DE19936024864 申请日期 1993.08.19
申请人 STMICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US 发明人 ZAMANIAN, MEHDI, DENTON COUNTY, TEXAS 75010, US;WORLEY, JAMES LEON, DENTON COUNTY, TEXAS 75028, US
分类号 H01L21/82;H01L21/8244;H01L27/11;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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