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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen, Spülen und Trocknen von Wafern
摘要
申请公布号 DE19781822(T1) 申请公布日期 1999.06.17
申请号 DE19971081822T 申请日期 1997.07.08
申请人 SPEEDFAM CORP., CHANDLER, ARIZ., US 发明人 PETERSON, GLENN E., GLENDALE, ARIZ., US;SHURTLIFF, ERIC, PHOENIX, ARIZ., US;GOUDIE, CHAD, CHANDLER, ARIZ., US;NATALICIO, JOHN, LOS ANGELES, CALIF., US;OLSEN, GREG, TEMPE, ARIZ., US
分类号 H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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