| 发明名称 |
Method for fabricating capacitor for semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0887849(A3) |
申请公布日期 |
1999.06.16 |
| 申请号 |
EP19970308162 |
申请日期 |
1997.10.15 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KANG, CHANG-SEOK |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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