| 发明名称 |
Semiconductor device and method of producing the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0599730(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.16 |
| 申请号 |
EP19930402843 |
申请日期 |
1993.11.23 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
FUKADA, TAKASHI |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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