| 发明名称 |
High rate deposition of amorphous silicon films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU1327499(A) |
申请公布日期 |
1999.06.16 |
| 申请号 |
AU19990013274 |
申请日期 |
1998.11.24 |
| 申请人 |
PACIFIC SOLAR PTY LTD |
发明人 |
MARTIN ANDREW GREEN;MICHAEL BAZYLENKO;FENGMING ZHANG;ZHENGRONG SHI |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/52;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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