| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING INTER-CONNECTOR IN SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100200499(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
KR19950061322 |
申请日期 |
1995.12.28 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. |
发明人 |
NOH, TAE-HYO |
| 分类号 |
C23C14/58;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
C23C14/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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