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发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100196389(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960010509 申请日期 1996.04.08
申请人 TAESUK MACHINE CO.,LTD. 发明人 HA, JUNG-KI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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