发明名称 PLANARIZATION METHOD FOR SEMICONDOCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100195213(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960017469 申请日期 1996.05.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 CHUNG, KI-TAE
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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