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发明名称 GAS EXHAUSTING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100191232(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950047175 申请日期 1995.12.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 SONN, KYU-TAE;SONN, BYUNG-CHANG;SONG, BYUNG-SOO
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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