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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11158625(A) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 JP19970322581 申请日期 1997.11.25
申请人 SONY CORP 发明人 OZAWA YUTAKA;NADA NAOJI;OMI MOTOSUKE
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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