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发明名称 PLASMA CVD SYSTEM WITH AN ARRAY OF MICROWAVE PLASMA ELECTRODES AND PLASMA CVD PROCESS
摘要
申请公布号 EP0922122(A1) 申请公布日期 1999.06.16
申请号 EP19970940121 申请日期 1997.08.23
申请人 SCHOTT GLAS;CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS SCHOTT GLAS 发明人 WALTHER, MARTEN;MOEHL, WOLFGANG;DANIELZIK, BURKHARD;KUHR, MARKUS;HOCHHAUS, ROLAND;BAUCH, HARTMUT;HEMING, MARTIN;KUEPPER, THOMAS;BEWIG, LARS
分类号 H05H1/46;C23C16/40;C23C16/511;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/52 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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