| 发明名称 |
Vacuum coating plant with a crucible disposed in the vacuum chamber for holding material to be evaporated |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2306512(B) |
申请公布日期 |
1999.06.16 |
| 申请号 |
GB19960019914 |
申请日期 |
1996.09.24 |
| 申请人 |
* BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG |
发明人 |
GERD * HOFFMANN;RAINER * LUDWIG;NORBERT * ROSS;GERHARD * STEINIGER |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/08;C23C14/30;C23C14/32;C23C14/56;H01J37/305;(IPC1-7):C23C14/30 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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