ETCHING CHAMBER COVER OF SEMICONDUCTOR,申请号KR19960002183-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ETCHING CHAMBER COVER OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号	KR100191806(B1)	申请公布日期	1999.06.15
申请号	KR19960002183	申请日期	1996.01.30
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.	发明人	CHUN, SANG-JOON
分类号	H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
主权项
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