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发明名称 METHOD FOR FORMING BARRIER METAL WIRING
摘要
申请公布号 KR100200739(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960046342 申请日期 1996.10.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 OH, JAE-EUNG;LEE, SANG-IN;PARK, CHANG-SOO
分类号 C23C16/02;C23C16/34;C23C16/50;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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