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发明名称 WAFER CLAMPING APPARATUS OF ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 KR100197886(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960030320 申请日期 1996.07.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 WHANG, JONG-SEONG
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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