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发明名称 COOLING SYSTEM OF ION IMPLANT
摘要
申请公布号 KR100196904(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960032900 申请日期 1996.08.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, CHAE-YEONG;SEO, JONG-WHAN
分类号 H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
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